Инспекционный микроскоп Nikon ECLIPSE L200N/L200ND
(495) 223-40-00 | systems@tokyo-boeki.ru
Инспекционные микроскопы Nikon ECLIPSE L200N/L200ND предназначены для изучения и контроля качества интегральных схем. Предшественниками моделей Nikon Eclipse L200N/L200ND являются микроскопы Nikon Eclipse L200/L200D.
L200N - Изучение полупроводниковых пластин диаметром до 200 мм при эпископическом освещении. L200ND - Изучение полупроводниковых пластин диаметром до 200 мм при эпископическом и диаскопическом освещении
Функции и рабочие характеристики- Микроскоп L200ND позволяет осуществлять наблюдения при диаскопическим освещении с использованием различных методик: светлое и темное поле, простая поляризация и DIC (дифференциально-интерференционный контраст). Кроме того, имеется возможность осуществления эпифлуоресцентной микроскопии, в том числе с применением УФ-возбуждения при длине волны 365 нм.
- Высокая эффективность микроскопии полупроводников и органического электролюминесцентного материала.
Тринокулярный тубус с регулируемым углом наклона позволяет осуществлять наблюдение на оптимальном для наблюдателя уровне
Контроль прецизионного движения по оси X-Y
- Прецизионное устройство управления движением по оси X-Y размещается вблизи оператора.
- Все устройства управления располагаются рядом друг с другом, что облегчает перемещение предметного стола и выполнение фокусировки.
Универсальная револьверная головка с ручным переключением
- Возможность установки до 6 объективов.
- Центровка позволяет свести к минимуму смещение изображения при смене объектива даже при работе с большим увеличением. Изображение остается стабильным при любом увеличении.
- Защитный механизм, который активируется при повороте револьверной головки, защищает глаз оператора от воздействия вспышки.
Мишени для фокусировки
Возможность установки фокусировочной мишени в оптическом пути позволяет легко и точно сфокусировать систему на образец с низкой контрастностью, например, на полупроводниковую пластину.
Управление вынесено на переднюю панель
- Основные органы управления размещаются на передней панели микроскопа, что облегчает доступ к ним.
- Можно быстро управлять микроскопом не отрываясь от просмотра образцов.
Блок DS-U3 для управления камерой, периферийным оборудованием и микроскопом при помощи программного обеспечения NIS-Elements.
Получение, обработка и анализ высококачественных изображений
Интерактивные измерения - NIS-Elements позволяет измерять различные параметры, в том числе расстояние, площадь, радиус и угловой профиль. Результаты могут сохраняться в формате Excel.
Совмещение больших изображений - Составление изображений большой площади с высоким разрешением обеспечивается посредством совмещения прилегающих изображений с высоким разрешением.
EDF (Увеличенная глубина фокусировки) - Позволяет объединить изображения, полученные с разных положений по оси Z для создания виртуального 3D-изображения.
Автоматические измерения - Около 80 различных автоматических функций для измерения параметров объекта и поля обзора - длины, площади, плотности, цвета RGB.
Классификатор - обеспечивает сегментацию пикселей изображения в соответствии с различными условиями, определяемыми пользователями, и основывается на различных свойствах пикселей, таких как интенсивность, цвет RGB, HSI и HS.
| ECLIPSE L300N (эпископическое освещение) | ECLIPSE L300ND (эпископическое и диаскопическое освещение) | |
| Корпус | Встроенный источник питания с галогенной лампой 12В-50Вт; Моторизированное управление револьверной головкой, контроль яркости освещения, управление апертурной диафрагмой | |
| Револьверная головка: моторизированная универсальная на шесть объективов с функцией центрирования | ||
| - | Переключение между эпископическим и диаскопическим режимами | |
| Механизм фокусировки | Ход фокусировки: 29 мм Грубая фокусировка: 12,7 мм/об. (регулировка усилия, имеется механизм рефокусировки) Точная фокусировка: 0,1 мм/об. (шаг 1 мкм) |
|
| Эпископический осветитель | Встроенная галогенная лампа 12В-50Вт Моторизированная апертурная диафрагма (с возможностью центровки). Фиксированная диафрагма осветителя микроскопа (с мирой) Направляющая с диафрагмой (поставляется отдельно), четыре фильтра ?25 мм (NCB11, ND16, ND4), с возможностью установки поляризатора и анализатора Наблюдение по методу: светлого поля, темного поля, простой поляризации, эпифлуоресценции, ДИК (дифференциально-интерференционный контраст) |
|
| Диаскопический осветитель | - | Встроенная галогенная лампа12В-50Вт Встроенная апертурная диафрагма Встроенный LWD-конденсор |
| Интерфейс | USB x 1, RS232C (для Intensilight) x 1 | |
| Окулярные тубусы | L2-TT2A - наклонный тринокулярный тубус (угол наклона: 0-30°) с прямым изображением и полем зрения 25 мм, коэф.разделения пучка 100:0/20:80 L2-TTA - наклонный тринокулярный тубус (угол наклона: 0-30 °) с прямым изображением и полем зрения 25 мм, коэф.разделения пучка 100:0/0:100 LV-TI3 тринокулярный (с прямым изображением, поле зрения 25 мм) |
|
| Окуляры | Линзы окуляров серии CFI | |
| Объективы | CFI TU Plan Fluor | |
| Предметные столики | Столик 14x12, перемещение: 354 x 302 мм (диапазон диаскопических наблюдений: 354 x 268 мм) Возможность грубого и точного перемещения Контроль перемещения по оси X-Y (с фиксированным положением) |
|
| Антистатический механизм | 1000-10 В, в теч. 0,2 сек | |
| Энергопотребление | 1,2 A/90 Вт | |
| Габариты | Примерно 360 (Ш) x 951 (Д) x 581 (В) мм (при угле наклона 10°) | |
| Вес | Около 45 кг (только станина) Около 64 кг (с использованием предметного столика 14x12 и окулярного тубуса L2-TTA) | |
