TOKYO BOEKI - официальный дистрибьютор Nikon на территории России и в других странах СНГ
ОПТИЧЕСКИЕ МИКРОСКОПЫ И СИСТЕМЫ ИЗМЕРЕНИЯ
Телефон:
+7-495-223-4000
Факс:
+7-495-223-4001
E-mail:
main@tokyo-boeki.ru

Инспекционный микроскоп Nikon ECLIPSE L300N/L300ND

Свяжитесь со специалистом удобным для Вас способом:
(495) 223-40-00 | systems@tokyo-boeki.ru
Инспекционные микроскопы Nikon ECLIPSE L300N/L300ND предназначены для изучения и контроля качества интегральных схем. Предшественниками моделей Nikon Eclipse L300N/L300ND являются микроскопы Nikon Eclipse L300/L300D. L300N - Изучение полупроводниковых пластин диаметром до 200 мм при эпископическом освещении L300ND - Изучение полупроводниковых пластин диаметром до 300 мм при эпископическом и диаскопическом освещении

L300N - Изучение полупроводниковых пластин диаметром до 200 мм при эпископическом освещении

L300ND - Изучение полупроводниковых пластин диаметром до 300 мм при эпископическом и диаскопическом освещении

Функции и рабочие характеристики
  • Микроскоп L300ND позволяет осуществлять наблюдения при диаскопическим освещении с использованием различных методик: светлое и темное поле, простая поляризация и DIC (дифференциально-интерференционный контраст). Кроме того, имеется возможность осуществления эпифлуоресцентной микроскопии, в том числе с применением УФ-возбуждения при длине волны 365 нм.
  • Высокая эффективность микроскопии полупроводников и органического электролюминесцентного материала.

Тринокулярный тубус с регулируемым углом наклона позволяет осуществлять наблюдение на оптимальном для наблюдателя уровне.

Контроль прецизионного движения по оси X-Y.

  • Прецизионное устройство управления движением по оси X-Y размещается вблизи оператора.
  • Все устройства управления располагаются рядом друг с другом, что облегчает перемещение предметного стола и выполнение фокусировки.

Универсальная револьверная головка с ручным переключением

  • Возможность установки до 6 объективов.
  • Центровка позволяет свести к минимуму смещение изображения при смене объектива даже при работе с большим увеличением. Изображение остается стабильным при любом увеличении.
  • Защитный механизм, который активируется при повороте револьверной головки, защищает глаз оператора от воздействия вспышки.

Мишени для фокусировки

Возможность установки фокусировочной мишени в оптическом пути позволяет легко и точно сфокусировать систему на образец с низкой контрастностью, например, на полупроводниковую пластину.

Управление вынесено на переднюю панель

  • Основные органы управления размещаются на передней панели микроскопа, что облегчает доступ к ним.
  • Можно быстро управлять микроскопом не отрываясь от просмотра образцов.
Программное обеспечение NIS-Elements для обработки изображений

Блок DS-U3 для управления камерой, периферийным оборудованием и микроскопом при помощи программного обеспечения NIS-Elements.

Получение, обработка и анализ высококачественных изображений

Интерактивные измерения - NIS-Elements позволяет измерять различные параметры, в том числе расстояние, площадь, радиус и угловой профиль. Результаты могут сохраняться в формате Excel.

Совмещение больших изображений - Составление изображений большой площади с высоким разрешением обеспечивается посредством совмещения прилегающих изображений с высоким разрешением.

EDF (Увеличенная глубина фокусировки) - Позволяет объединить изображения, полученные с разных положений по оси Z для создания виртуального 3D-изображения.

Автоматические измерения - Около 80 различных автоматических функций для измерения параметров объекта и поля обзора - длины, площади, плотности, цвета RGB.

Классификатор - обеспечивает сегментацию пикселей изображения в соответствии с различными условиями, определяемыми пользователями, и основывается на различных свойствах пикселей, таких как интенсивность, цвет RGB, HSI и HS.

ECLIPSE L300N (эпископическое освещение) ECLIPSE L300ND (эпископическое и диаскопическое освещение)
Корпус Встроенный источник питания с галогенной лампой 12В-50Вт; Моторизированное управление револьверной головкой, контроль яркости освещения, управление апертурной диафрагмой
Револьверная головка: моторизированная универсальная на шесть объективов с функцией центрирования
- Переключение между эпископическим и диаскопическим режимами
Механизм фокусировки Ход фокусировки: 29 мм
Грубая фокусировка: 12,7 мм/об. (регулировка усилия, имеется механизм рефокусировки)
Точная фокусировка: 0,1 мм/об. (шаг 1 мкм)
Эпископический осветитель Встроенная галогенная лампа 12В-50Вт
Моторизированная апертурная диафрагма (с возможностью центровки). Фиксированная диафрагма осветителя микроскопа (с мирой)
Направляющая с диафрагмой (поставляется отдельно), четыре фильтра ?25 мм (NCB11, ND16, ND4), с возможностью установки поляризатора и анализатора
Наблюдение по методу: светлого поля, темного поля, простой поляризации, эпифлуоресценции, ДИК (дифференциально-интерференционный контраст)
Диаскопический осветитель - Встроенная галогенная лампа12В-50Вт
Встроенная апертурная диафрагма
Встроенный LWD-конденсор
Интерфейс USB x 1, RS232C (для Intensilight) x 1
Окулярные тубусы L2-TT2A - наклонный тринокулярный тубус (угол наклона: 0-30°) с прямым изображением и полем зрения 25 мм, коэф.разделения пучка 100:0/20:80
L2-TTA - наклонный тринокулярный тубус (угол наклона: 0-30 °) с прямым изображением и полем зрения 25 мм, коэф.разделения пучка 100:0/0:100
LV-TI3 тринокулярный (с прямым изображением, поле зрения 25 мм)
Окуляры Линзы окуляров серии CFI
Объективы CFI TU Plan Fluor
Предметные столики Столик 14x12, перемещение: 354 x 302 мм (диапазон диаскопических наблюдений: 354 x 268 мм)
Возможность грубого и точного перемещения
Контроль перемещения по оси X-Y (с фиксированным положением)
Антистатический механизм 1000-10 В, в теч. 0,2 сек
Энергопотребление 1,2 A/90 Вт
Габариты Примерно 360 (Ш) x 951 (Д) x 581 (В) мм (при угле наклона 10°)
Вес Около 45 кг (только станина) Около 64 кг (с использованием предметного столика 14x12 и окулярного тубуса L2-TTA)
Наверх