Настольная установка совмещения и экспонирования

Свяжитесь со специалистом удобным для Вас способом:
(495) 223-40-00 | systems@tokyo-boeki.ru

Разработка микроэлектроники в R&D центрах и университетах
Привода, датчики давления, датчики ускорения, устройства питания и т. д.
Экспонирование Flip Chip/BGA/CSP

Особенности
Технические характеристики

Экономичная, компактная и высокопроизводительная установка
Просмотр слитного изображения двух меток совмещения в поле зрения
Светодиодный осветитель

Область совмещения
Разрешение объектов	3 мкм (опционально 2 мкм)
Итоговое увеличение	100X
Осветитель	Зеленый светодиод (λ=540 нм)
X, Y диапазон перемещений стола	±5 мм
θ настройка	±5°
Модуль экспонирования
Источник	Ртутная лампа сверхвысокого давления 250 Вт
Эффективная зона экспонирования	максимум φ100 мм
Распределение интенсивности	±5% или менее
Интенсивность света	20 мВт/см² (405 нм)