Система Nexiv с автозагрузкой пластин

Компания Nikon Metrology анонсировала запуск нового продукта – видеоизмерительной системы Nikon Nexiv VMZ-R3020 (внесена в Государственный Реестр Средств Измерений), позволяющей в автоматическом режиме проводить инспекцию полупроводниковых пластин размером 200 мм с помощью автозагрузчика Nikon NWL200.

Оптический зум до 120х, инспекция задней поверхности пластины в центре и по краям.

Методы светлого и темного поля. Лазерная автофокусировка, полная моторизация. Точность измерений до 1 мкм. Загрузка кассеты из 25 пластин.

По вопросам приобретения обращайтесь по телефону +7 (495) 223-40-00 или по почте systems@tokyo-boeki.ru