Видеоизмерительная система Nikon NEXIV VMR-1515

Стандартная головка с 15-кратным высокоскоростным зумом
Стандартная головка включает в себя 5-ступенчатое 15-кратное высокоскоростное масштабирование, обеспечивающее большую гибкость при выборе коэффициентов увеличения в зависимости от размера измеряемой области.

• Благодаря широкому выбору вариантов освещения обеспечивается точное обнаружение кромок прессованных деталей.
• 3 модели (тип: 1, 2, 3) с 5-ступенчатым масштабированием для наблюдения при разных разрешениях и полях зрения.
• Большое рабочее расстояние 50 мм позволяет производить измерение поверхностей со значительными перепадами высот.
• Высокая числовая апертура 0.35 обеспечивает широкое поле зрения.
• 15-кратное масштабирование позволяет реализовать быстрый поиск и детальное увеличение области интереса, благодаря чему обеспечивается высокая точность измерений. Точная калибровка при разных коэффициентах увеличения позволяет производить быстрое измерение нескольких параметров в одном поле зрения.
• Лазерная автофокусировка позволяет производить анализ поперечных сечений и оценку плоскостности, а также трёхмерный замер профиля поверхности.

Корпуса полупроводниковых приборов, подложки, печатные платы, штампованные детали, разъёмы, детали, полученные литьём под давлением, часовые механизмы.

Приведённые коэффициенты увеличения соответствуют изображению на 24-дюймовом WUXGA-мониторе с установленным разрешением SXGA (640 х 480 пикселей).

1X

2X

4X

8X

15X

Линза объектива с высокой степенью коррекции эквивалентна линзам, которые применяются в самых дорогих моделях микроскопов Nikon. Указанные линзы имеют высокую числовую апертуру, равную 0,35, а также большое рабочее расстояние, составляющее 50 мм при любом увеличении.

Лазерная автофокусировка через объектив обеспечивает высокое разрешение, большое рабочее расстояние и высокую скорость, благодаря чему позволяет производить идеальную фокусировку в узкой области при незначительных увеличениях.
Высокоскоростное измерение посредством сканирования может производиться со скоростью до 1000 точек в секунду, что позволяет осуществлять высокоточные измерения по оси Z при решении ряда измерительных задач. Также с помощью данной системы автофокусировки можно обнаружить верхнюю и нижнюю поверхности прозрачного слоя для измерения толщины прозрачного слоя или глубину до поверхности слоя, следующего за прозрачным слоем.

Благодаря внедрению нового алгоритма и применению ПЗС-камеры с прогрессивной развёрткой, были повышены скорость и точность системы Vision AF, характеристики которой теперь приближаются к характеристикам системы лазерной автофокусировки через объектив. Система Vision AF удобна в тех случаях, когда нельзя использовать лазерную автофокусировку через объектив, например, при необходимости фокусировки на закруглённых кромках или кромках с фасками.

Система Multiple-Vision AF позволяет производить одновременное измерение в нескольких точках в пределах одного поля зрения, расположенных на разной высоте.

Фокусировка на поверхности

Фокусировка на границе

Светодиодные источники света в настоящее время почти полностью заменили галогеновые лампы. Светодиоды имеют стабильно высокую цветовую температуру, которая не меняется с интенсивностью. Это обеспечивает более натуральные цвета в изображениях и короткое время измерений.

Меню управления освещением:
1. Управление интенсивностью диаскопического и эпископического света
2. Автоматическая настройка интенсивности диаскопического и эпископического источников
3. Управление светом кольцевых источников: угол и направление
4. Вращение направления света
5. Управление интенсивностью кольцевых источников

Специально для серии VMR была разработана система освещения, состоящая из внутреннего и внешнего кольцевых осветителей.

Благодаря тому, что в данной системе произвольным образом комбинируется освещение, поступающее с восьми разных сторон, стало возможным наблюдение кромок с чрезвычайно низким контрастом, которые при эпископическом освещении, как правило, незаметны. Такое решение наилучшим образом подходит для подчёркивания контуров контактных площадок, штырьков, керамических корпусов и других аналогичных деталей.

Данный тип осветителя является универсальным и может применяться тогда, когда необходимо яркое освещение с разных сторон. При данной модели освещения сохраняется полное рабочее расстояние, равное 50 мм.

Данный тип осветителя позволяет осуществлять наблюдение деталей, которые не могут быть измерены при падении света под малым углом. Когда в осветителе нет необходимости, он убирается, оставляя больше пространства над деталью. При использовании данного осветителя рабочее расстояние составляет 10 мм.

Новый модуль VMR-Z120X обеспечивает диапазон увеличения от 1х до 120Х благодаря применению двух объективов и изменению оптического пути. 8-ступенчатое масштабирование позволяет системе производить быстрые измерения сотен различных параметров и важные измерения линий шириной от 1 мкм при неизменном поле зрения.

Модуль максимального увеличения позволяет осуществлять измерение деталей с высокоточной обработкой. Идеально подходит для измерения деталей MEMS, печатных плат с высокой плотностью расположения элементов и корпусов полупроводниковых приборов.

• Модуль максимального увеличения в сочетании с высокоточным предметным столиком позволяет производить точное измерение как крупных деталей, так и миниатюрных структур
• Система лазерной автофокусировки осуществляет фокусировку относительно точки малого размера, чтобы обеспечить высокую точность измерения поперечных сечений и высоты мелких деталей
• Программное обеспечение для анализа поверхности, поставляемое в качестве опции, позволяет отображать формы деталей MEMS в трёхмерном представлении

Печатные платы, микросборки, подложки, Корпуса (2D + высота), детали MEMS

Сочетание двух линз объектива позволяет применять модуль для решения самых различных задач: от наблюдений в широком поле зрения при незначительном увеличении до точных измерений при высоком коэффициенте увеличения. Числовая апертура составляет 0,55.
Основная (правая) линза обеспечивает диапазон увеличений 16-120Х для измерения мельчайших структур шириной до 1 мкм, дополнительная (левая) – от 1Х до 7.5Х для поиска объектов измерения.

Приведённые коэффициенты увеличения соответствуют изображению на 24-дюймовом WUXGA-мониторе с установленным разрешением SXGA (640 х 480 пикселей).

1X

2X

4X

7.5X

16X

32X

64X

120Х (ширина линии 6 мкм)

Основной объектив оснащён встроенной системой лазерной автофокусировки. Высокая числовая апертура значительно повышает эффективность фокусировки и сканирования тонких, прозрачных/полупрозрачных (например, защитные покрытия) поверхностей или отражающих поверхностей неправильной формы. Высокоскоростное измерение посредством сканирования может производиться со скоростью до 1000 точек в секунду, что позволяет осуществлять высокоточные измерения по оси Z при решении ряда измерительных задач.

Данный модуль обеспечивает наилучшее освещение любой детали благодаря тому, что позволяет использовать три возможных варианта освещения с программным управлением – эпископическое, диаскопическое (основной объектив) и освещение по методу тёмного поля. Это обеспечивает высокую точность обнаружения кромок.

Эпископическое освещение

Освещение по методу тёмного поля

Оптическая система CFI60-2
Знаменитая оптика Nikon CFI60-2 без внутренних напряжений обеспечивает чёткие, высококонтрастные изображения, поэтому данная система лучше всего подходит для наблюдения подложек ЖК-дисплеев большого размера и светофильтров. Система позволяет производить как наблюдение детали, так и измерение её размеров с применением технологий обработки изображений. С помощью призмы высокого дифференциально-интерференционного контраста можно также получать изображения с улучшенным контрастом.

Универсальная моторизованная револьверная головка
Моторизованная револьверная головка с программным управлением позволяет менять увеличение в ходе выполнения обучающей программы. Это позволяет производить наблюдение при наилучшем увеличении и с оптимально подобранным объективом.

Автоматическое управление – от измерений до обработки данных
Управление всеми функциями системы осуществляется посредством простого в использовании программного обеспечения. Процесс измерения автоматизирован – от управления несколькими источниками света до обработки данных и перемещений столика. Это позволяет обеспечить стабильность и точность результатов измерений.

Широкий выбор объективов серии CFI60-2
Оптическая система CFI60 позволяет получать яркие, высококонтрастные изображения за счёт минимизации бликов, при этом она имеет более высокие числовые апертуры и увеличенное рабочее расстояние.

Эффект от применения объективов для ЖК-панелей
При наблюдении через стекло с помощью специальных объективов с коррекцией на толщину стеклянной подложки можно получить чёткое изображение рисунка.

С объективом Plan EPI

С объективом для ЖК-панелей

Изображение по методу ДИК Номарского
Микроскопия по методу дифференциального-интерференционного контраста позволяет визуализировать незначительные перепады высоты в виде чётких, контрастных изображений.

Изображение в тёмном поле
Микроскопия методом тёмного поля эффективна при необходимости обнаружения мелких частиц и царапин на поверхности.

Области применения
Полупроводниковые пластины, LCD размером до 150 мм

Программное обеспечение NEXIV VMR AutoMeasure обновлено и имеет теперь новый графический интерфейс, благодаря которому можно из основного окна создавать или запускать обучающие файлы, регулировать освещение, проверять результаты или проводить калибровку.

С помощью различных утилит можно легко записать обучающий файл в короткий срок.

Новый интерфейс может быть настроен под задачи заказчика.

Можно заранее установить правила определения кромки из числа вариантов и отфильтровать неверные, чтобы избежать неправильных точек и минимизировать ошибки.

Можно сохранить изображения в обучающем файле, чтобы позволить системе искать их. С данной функцией смещенные образцы будут найдены и измерены без ошибок.
Система обнаружит детали с неверной ориентацией и повернет изображение до совпадения.

Можно выбрать из трех уровней интенсивности Низкий, Средний и Высокий для коаксиального, верхнего и нижнего света с помощью всего одной из трех кнопок.

Оператор может импортировать данные из САПР (CAD) для конкретной детали (в формате IGES, DXF, Gerber или Excellon) и отобразить её в окне графического представления данных CAD в программной оболочке NEXIV VMR AutoMeasure. Это повышает эффективность обучения и экономит рабочее время.

• Оператор может переместить столик в требуемое положение двойным щелчком мыши в нужном месте на обследуемой детали.
• Данная функция позволяет автоматически создать файл программы обучения на основании данных CAD в программной оболочке NEXIV VMR AutoMeasure.

Программа NEXIV Virtual AutoMeasure позволяет считывать данные CAD в окно виртуального видеопространства на отдельном компьютере, предоставляя оператору возможность работы с программой обучения системы NEXIV с применением таких же рабочих процедур, как и на компьютере, подключённом к сети. Это избавляет от необходимости использовать реальную деталь при составлении обучающих программ и позволяет системе NEXIV сосредоточиться на автоматических измерениях для повышения производительности.

• Поддерживает файлы форматов IGES, DXF, DMIS, NC, Gerber и Excellon.
• Окно виртуального видеопространства позволяет оператору выбрать необходимое поле зрения на основании данных CAD.
• Применяются такие же рабочие процедуры, как и в программе NEXIV AutoMeasure.
• Программирование в ручном режиме или автоматически, одним щелчком мыши.
• Возможно сочетание программ с использованием макроступеней, таких как измерение ширины линии и поиск по нескольким шаблонам.

Данная программа позволяет осуществлять измерение и анализ двумерных профилей детали, которые не могут быть измерены в режиме нормального геометрического измерения. Теперь, благодаря применению метода сравнения таблиц данных, возможно выполнение более точных количественных измерений с использованием профильных проекторов и/или традиционных измерительных микроскопов.

Оценка контуров
Номинальные и измеренные контуры можно наложить, и ошибки сразу станут заметны. Функция лучшего совпадения сдвигает и доворачивает измеренные контуры до номинальных для минимизации ошибок.

Редактирование импортированных данных CAD-файлов
Изменение допусков, направлений элементов, размера может быть сделано в программе NEXIV Profiler.

Расчет погрешностей может быть проведен в направлении нормали или в осевом направлении.
Номинальные контуры могут быть созданы либо из CAD-файлов, либо из значений координат XYZ.
Измеренные контуры могут быть выведены в CSV или DXF файле.
Отчет может быть выполнен в формате PDF файла.

Используя программный модуль NEXIV CAD Reader чертежи с номинальными размерами могут быть вызваны из файлов формата DXF/IGES.

Отчеты могут содержать результаты измерений и графики. Можно выбрать, какие результаты и графики нужно отобразить, и сменить слои. После того как отчет впервые создан, он может автоматически создаваться каждый раз при запуске программы.

MountainsMap X – мощная программа для метрологического анализа поверхностей. Она обладает богатым функционалом 3D визуализации, поперечного вида, 2D и 3D шероховатостей и других параметров по стандарту ISO.

Программное обеспечение может объединять изображения в XY плоскости, чтобы в итоге получить изображение большого поля зрения, а также изображения на разной высоте вдоль оси Z, чтобы получить изображение с расширенной глубиной фокуса (EDF). На основании этих данных может создать 3D графики.

Изображение EDF

3D график

«Сшитое» изображение с EDF

Поперечное сечение