Видеоизмерительная система Nikon NEXIV VMZ-R 6555

Стандартная оптическая головка типов 1, 2, 3 включает в себя 5-ступенчатое 15-кратное высокоскоростное масштабирование, обеспечивающее большую гибкость при выборе коэффициентов увеличения в зависимости от размера измеряемой области.

• Благодаря широкому выбору вариантов освещения обеспечивается точное обнаружение кромок прессованных деталей.
• 3 модели (тип: 1, 2, 3) с 5-ступенчатым масштабированием для наблюдения при разных разрешениях и полях зрения.
• Большое рабочее расстояние 50 мм позволяет производить измерение поверхностей со значительными перепадами высот.
• Высокая числовая апертура 0.35 обеспечивает широкое поле зрения.
• 15-кратное масштабирование позволяет реализовать быстрый поиск и детальное увеличение области интереса, благодаря чему обеспечивается высокая точность измерений. Точная калибровка при разных коэффициентах увеличения позволяет производить быстрое измерение нескольких параметров в одном поле зрения.
• Лазерная автофокусировка позволяет производить анализ поперечных сечений и оценку плоскостности, а также трёхмерный замер профиля поверхности.

Области применения

Корпуса полупроводниковых приборов, подложки, печатные платы, штампованные детали, разъёмы, детали, полученные литьём под давлением, часовые механизмы.

Сопоставление коэффициента увеличения с полем зрения (мм)

Уровень масштабирования
1	2	3	4	5
Тип 1
Оптическое увеличение
0,5x	1x	2x	4x	7,5x
Общее увеличение
18x	36x	72x	144x	270x
Поле зрения (мм)
9.33 x 7	4,67 x 3,5	2,33 x 1,75	1,165 x 0,875	0,622 x 0,467
Фото
Тип 2
Оптическое увеличение
1x	2x	4x	8x	15x
Общее увеличение
36x	72x	144x	288x	540x
Поле зрения (мм)
4,67 x 3,5	2,33 x 1,75	1,165 x 0,875	0,582 x 0,437	0,311 x 0,233
Фото
Тип 3
Оптическое увеличение
2x	4x	8x	16x	30x
Общее увеличение
72x	144x	288x	576x	1080x
Поле зрения (мм)
2,33 x 1,75	1,165 x 0,875	0,582 x 0,437	0,291 x 0,218	0,155 x 0,117
Фото

Приведённые коэффициенты увеличения соответствуют изображению на 24-дюймовом WUXGA-мониторе с установленным разрешением SXGA (640 х 480 пикселей).

Линза объектива с широким полем зрения и высокой числовой апертурой

Линза объектива с высокой степенью коррекции эквивалентна линзам, которые применяются в самых дорогих моделях микроскопов Nikon. Указанные линзы имеют высокую числовую апертуру, равную 0,35, а также большое рабочее расстояние, составляющее 50 мм при любом увеличении.

Усовершенствованная лазерная автофокусировка через объектив

Лазерная автофокусировка через объектив обеспечивает высокое разрешение, большое рабочее расстояние и высокую скорость, благодаря чему позволяет производить идеальную фокусировку в узкой области при незначительных увеличениях.
Высокоскоростное измерение посредством сканирования может производиться со скоростью до 1000 точек в секунду, что позволяет осуществлять высокоточные измерения по оси Z при решении ряда измерительных задач. Также с помощью данной системы автофокусировки можно обнаружить верхнюю и нижнюю поверхности прозрачного слоя для измерения толщины прозрачного слоя или глубину до поверхности слоя, следующего за прозрачным слоем.

Принцип работы автоматической лазерной фокусировки через объектив Автофокусировка AF

Система автофокусировки обеспечивает получение улучшенной средней высоты неровностей, обнаружение глубины мелких и глубоких отверстий или крутых поверхностей в отличие от полученной с помощью лазера.

В режиме съемки поверхности фокусировка производится на самих объектах
В режиме контраста фокусировка происходит на границе раздела
В режиме Multi система позволяет производить одновременное измерение в нескольких точках в пределах одного поля зрения, расположенных на разной высоте.
Универсальное освещение для обнаружения кромок

Светодиодные источники света в настоящее время почти полностью заменили галогеновые лампы. Светодиоды имеют стабильно высокую цветовую температуру, которая не меняется с интенсивностью. Это обеспечивает более натуральные цвета в изображениях и короткое время измерений.
Меню управления освещением:
1. Управление интенсивностью диаскопического и эпископического света
2. Автоматическая настройка интенсивности диаскопического и эпископического источников
3. Управление светом кольцевых источников: угол и направление
4. Вращение направления света
5. Управление интенсивностью кольцевых источников

Новый модуль типа 4 обеспечивает диапазон увеличения от 4Х до 60Х и предназначен для измерения мельчайших деталей на образцах с большой плотностью элементов.

Доступны эпископический и диаскопический светодиодные осветители, а также 8-сегментный светодиодный кольцевой осветитель с косыми лучами под углом 50° относительно оптической оси.

Числовая апертура составляет 0.46 и рабочее расстояние равно 30 мм.

Сопоставление коэффициента увеличения с полем зрения (мм)

Уровень масштабирования
1	2	3	4	5
Оптическое увеличение
4x	8x	16x	32x	60x
Общее увеличение
144x	288x	576x	1152x	2160x
Поле зрения (мм)
1,165 x 0,875	0,582 x 0,437	0,291 x 0,218	0,146 x 0,109	0,07 x 0,068
Фото

Области применения

Корпуса полупроводниковых приборов, MEMS, печатные платы с высокой плотностью расположения элементов PCB, детали, полученные литьём под давлением

Новый модуль типа TZ обеспечивает максимальный диапазон увеличения от 1Х до 120Х, благодаря применению двух объективов и изменению оптического пути. Система позволяет осуществлять измерение деталей с высокоточной обработкой.

• Модуль максимального увеличения в сочетании с высокоточным предметным столиком позволяет производить точное измерение как крупных деталей, так и миниатюрных структур
• Система лазерной автофокусировки осуществляет фокусировку относительно точки малого размера, чтобы обеспечить высокую точность измерения поперечных сечений и высоты мелких деталей
• Программное обеспечение для анализа поверхности, поставляемое в качестве опции, позволяет отображать формы деталей MEMS в трёхмерном представлении

>Области применения

Печатные платы с высокой плотностью расположения элементов PCB, фотошаблоны для подложек, Корпуса полупроводниковых приборов (2D + высота), детали MEMS

>Две линзы объектива – широкое поле зрения и большая оптическая сила

Сочетание двух линз объектива позволяет применять модуль для решения самых различных задач: от наблюдений в широком поле зрения при незначительном увеличении до точных измерений при высоком коэффициенте увеличения. Числовая апертура составляет 0,55.
Основная (правая) линза обеспечивает диапазон увеличений 16-120Х для измерения мельчайших структур шириной до 1 мкм, дополнительная (левая) – от 1Х до 7.5Х для поиска объектов измерения.

>Сопоставление коэффициента увеличения с полем зрения (мм)

Уровень масштабирования	1	2	3	4
Оптическое увеличение	1x	2x	4x	7,5x
Общее увеличение	36x	72x	144x	270x
Поле зрения (мм)	4,7 х 3,5	2,33 х 1,75	1,165 х 0,875	0,622 х 0,467
Фото
Оптическое увеличение	1x	2x	4x	7,5x
Общее увеличение	36x	72x	144x	270x
Поле зрения (мм)	4,7 х 3,5	2,33 х 1,75	1,165 х 0,875	0,622 х 0,467
Фото

Приведённые коэффициенты увеличения соответствуют изображению на 24-дюймовом WUXGA-мониторе с установленным разрешением SXGA (640 х 480 пикселей).

>Лазерная автофокусировка через объектив с высоким разрешением и ультрамалым лазерным пятном

Основной объектив оснащён встроенной системой лазерной автофокусировки. Высокая числовая апертура значительно повышает эффективность фокусировки и сканирования тонких, прозрачных/полупрозрачных (например, защитные покрытия) поверхностей или отражающих поверхностей неправильной формы. Высокоскоростное измерение посредством сканирования может производиться со скоростью до 1000 точек в секунду, что позволяет осуществлять высокоточные измерения по оси Z при решении ряда измерительных задач.

>Принцип работы автоматической лазерной фокусировки через объектив: >Три типа осветителей

Данный модуль обеспечивает наилучшее освещение любой детали благодаря тому, что позволяет использовать три возможных варианта освещения с программным управлением – эпископическое, диаскопическое (основной объектив) и освещение по методу тёмного поля. Это обеспечивает высокую точность обнаружения кромок.

Оптическая головка типа A обеспечивает зум 10Х (увеличение от 0.35х до 3.5х) с максимальным полем зрения 13.3×10 мм и наибольшее рабочее расстояние 73,5 мм при числовой апертуре 0.11.

Хорошо подходит для больших образцов с малой плотности элементов с большими шагами, для глубоких отверстий, высоких выступов и т.д.

Уровень масштабирования
1	2	3	4	5
Оптическое увеличение
0,35x	0,6x	1x	1,8x	3,5x
Общее увеличение
12,6x	21,6x	36x	64,8x	126x
Поле зрения (мм)
13,3 x 10,0	7,8 x 5,8	4,7 x 3,5	2,6 x 1,9	1,33 x 1,0
Фото

Приведённые коэффициенты увеличения соответствуют изображению на 24-дюймовом WUXGA-мониторе с установленным разрешением SXGA (640 х 480 пикселей).

Области применения

Пластиковые формованные детали, металлические, резиновые, механические детали, часовые механизмы

Лазерная автофокусировка через объектив

Головка типа А может быть оснащена системой лазерной автофокусировки в качестве опции. Обеспечивается рабочее расстояние в 63 мм, независимо от увеличения и глубины фокуса.

Три типа осветителей

Комплектуется светодиодными осветителями эпископического и диаскопического света, а также 8-сегментным кольцевым осветителем с косым пучком света под углом 18⁰. Комбинация этих осветителей обеспечивает высокую точность обнаружения кромок.

Программное обеспечение NEXIV VMR AutoMeasure обновлено и имеет теперь новый графический интерфейс , благодаря которому можно из основного окна создавать или запускать обучающие файлы, проверять результаты или проводить калибровку.
С помощью различных утилит можно легко записать обучающий файл в короткий срок.
Новый интерфейс может быть настроен под задачи заказчика.

Новые функции для прецизионных автоматических измерений Выбор точки и границы раздела

Можно заранее установить правила определения кромки из числа вариантов и отфильтровать неверные, чтобы избежать неправильных точек и минимизировать ошибки.

Функция интеллектуального поиска

Можно сохранить изображения в обучающем файле, чтобы позволить системе искать их. С данной функцией смещенные образцы будут найдены и измерены без ошибок.
Система обнаружит детали с неверной ориентацией и повернет изображение до совпадения.

Автоматическая настройка интенсивности освещения

Можно выбрать из трех уровней интенсивности Низкий, Средний и Высокий для коаксиального, верхнего и нижнего света с помощью всего одной из трех кнопок.

Другие полезные функции для создания обучающих файлов

• Импорт данных из CAD-файлов
• Оффлайн обучение
• Экспорт данных в DXF

NEXIV Profiler Вычисление характеристик и отклонений по ISO и JIS.

Окружность
Вычисляется по методу наименьших квадратов или минимальной зоны, максимальной вписанной окружности, минимальной описанной окружности.

Плоскость
Вычисляется на основе метода наименьших квадратов или минимальной зоны, плоскость определяется как самая высокая или низкая из 3 точек.

Линия
Вычисляется на основе метода наименьших квадратов или минимальной зоны, линия определяется 2 точками на концах.

Оценка контуров
Номинальные и измеренные контуры можно наложить, и ошибки сразу станут заметны. Функция лучшего совпадения сдвигает и доворачивает измеренные контуры до номинальных для минимизации ошибок.

Редактирование импортированных данных CAD-файлов
Изменение допусков, направлений элементов, размера может быть сделано в программе NEXIV Profiler.
Расчет погрешностей может быть проведен в направлении нормали или в осевом направлении. Номинальные контуры могут быть созданы либо из CAD-файлов, либо из значений координат XYZ. Измеренные контуры могут быть выведены в CSV или DXF файле. Отчет может быть выполнен в формате PDF файла.

NEXIV Report

Отчеты могут содержать результаты измерений и графики. Можно выбрать, какие результаты и графики нужно отобразить, и сменить слои. После того как отчет впервые создан, он может автоматически создаваться каждый раз при запуске программы.

Дополнительные программные продукты EDF/Stitching Express

Программное обеспечение может объединять изображения в XY плоскости, чтобы в итоге получить изображение большого поля зрения, а также изображения на разной высоте вдоль оси Z, чтобы получить изображение с расширенной глубиной фокуса (EDF). На основании этих данных может создать 3D графики.

Программное обеспечение для анализа поверхности MountainsMap X(Digital Surf, Франция)

Файл CSV с координатами точек XYZ, полученных путем лазерного сканирования поверхности, можно считать с помощью программы MountainsMap и проанализировать в ней поверхность по ISO.

Программное обеспечение для анализа поверхности D-Surf(Kosaka Laboratory Ltd., Япония)

Данное программное обеспечение не только строит трёхмерное изображение мелких деталей поверхности объекта, измеряемого при помощи системы NEXIV, но также предоставляет возможность осуществления разных видов анализа, например, расчёт различных оценочных значений.
Файл CSV с координатами точек XYZ, полученных путем лазерного сканирования поверхности, можно считать с помощью программы D-Surf и использовать для анализа поверхности.

Перемещение по XYZ	Тип 1, 2, 3 и 4	650×550×200 мм
	Тип TZ с основным объективом	650×550×200 мм
	Тип TZ с дополнительным объективом	600×550×200 мм
	Тип A	650×550×200 мм
Минимальный шаг считывания		0.01 мкм
Максимальные вес образца		50 кг
Точность (L: длина в мм)	EUX, MPE EUY, MPE	1.2+4L/1000 мкм
	EUXY, MPE	2+4L/1000 мкм
	Точность по оси Z (с лазерным автофокусом)	1.2+5L/1000 мкм
Камера		Черно-белая ПЗС 1/3”, цветная ПЗС 1/3” (опция) *Цветная камера возможна для типов 1, 2 и A
Рабочее расстояние объектива	Тип 1, 2 и 3	50 мм при угле освещения 37°, 36 мм при угле освещения 55°, 10 мм при угле освещения 78°
	Тип 4	30 мм
	Тип TZ	11 мм для основного объектива и 32 мм для дополнительного объектива
	Тип A	73.5 мм без лазерной автофокусировки, 63 мм с лазерной автофокусировкой
Увеличение и поле зрения	Тип 1	0.5 ~ 7.5× / 9.33×7 ~ 0.622×0.467 мм
	Тип 2	1 ~ 15× / 4.67×3.5 ~ 0.311×0.233 мм
	Тип 3	2 ~ 30× / 2.33×1.75 ~ 0.155×0.117 мм
	Тип 4	4 ~ 60× / 1.165×0.875 ~ 0.07×0.068 мм
	Тип TZ	1 ~ 120× / 4.67×3.5 ~ 0.039×0.029 мм
	Тип A	0.35 ~ 3.5× / 13.3×10 ~ 1.33×1 мм
Автофокус		Тип 1, 2, 3, 4 и TZ оборудованы лазерной автофокусировкой через объектив и визуальной автофокусировкой. Тип A оборудован визуальной автофокусировкой в качестве стандартного решения и лазерной автофокусировкой в качестве опции.
Осветители	Тип 1, 2 и 3	Светодиодный эпископический и диаскопический осветители 8-сегментный светодиодный кольцевой осветитель (внутренний кольцевой осветитель с углом освещения 37° и внешний кольцевой осветитель с углами освещения 55° и 78°)
	Тип TZ	Светодиодный эпископический и темнопольный осветители для основной и дополнительной линз Светодиодный диаскопический осветитель для основной линзы
	Тип A	Светодиодный эпископический и диаскопический осветители 8-сегментный светодиодный кольцевой осветитель с углом освещения 18°
Требования к питающей сети		AC 100-240В±10% 50 или 60 Гц
Потребление по току		5A-2.5A
Размеры и вес	Основной блок и стол	1200×1640×1820 мм около 665 кг
	Блок управления	190×450×440 мм/15 кг
	Система, включая компьютер на столе	2400×2000 мм